EVALUACIÓN DE CALIDAD POR ESPECTROSCOPÍA RAMAN Y MICROSCOPÍA DE FUERZA ATÓMICA DE PELÍCULAS DE DIAMANTE CRECIDAS POR HOT FILAMENT-CVD

En este trabajo se reporta el crecimiento de películas de diamante depositadas sobre silicio cristalino (111) por la técnica de HFCVD. La espectroscopía Raman permite evaluar la progresiva degradación de la calidad de las películas por el efecto combinado del aumento de la concentración de metano y...

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Institution:Academia Colombiana De Ciencias Exactas Fisicas Y Naturales ACCEFYN
Main Authors: Rivera, Wayner, Devia, Alfonso, Academia Colombiana de Ciencias Exactas, Físicas y Naturales
Format: Artículo de revista
Language:Español
Published: Academia Colombiana de Ciencias Exactas, Físicas y Naturales 2009-09-21
Subjects:
Online Access:https://repositorio.accefyn.org.co/handle/001/2693
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