EVALUACIÓN DE CALIDAD POR ESPECTROSCOPÍA RAMAN Y MICROSCOPÍA DE FUERZA ATÓMICA DE PELÍCULAS DE DIAMANTE CRECIDAS POR HOT FILAMENT-CVD
En este trabajo se reporta el crecimiento de películas de diamante depositadas sobre silicio cristalino (111) por la técnica de HFCVD. La espectroscopía Raman permite evaluar la progresiva degradación de la calidad de las películas por el efecto combinado del aumento de la concentración de metano y...
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Institution: | Academia Colombiana De Ciencias Exactas Fisicas Y Naturales ACCEFYN |
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Main Authors: | , , |
Format: | Artículo de revista |
Language: | Español |
Published: |
Academia Colombiana de Ciencias Exactas, Físicas y Naturales
2009-09-21
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Subjects: | |
Online Access: | https://repositorio.accefyn.org.co/handle/001/2693 |
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