Caracterización electroquímica de bicapas de Ti/TiN depositadas sobre acero RUS-3 por el método de magnetrón sputtering
Se depositaron bicapas del sistema Ti/TiN sobre substratos de silicio [100] y acero RUS-3 usando la técnica de magnetrón sputtering d.c. a una temperatura del substrato de 400ºC, una potencia d.c de 80W y aplicando al substrato un voltaje de polarización de -50V. Con el fin de estudiar el efecto del...
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| Institution: | Escuela Colombiana de Ingeniería |
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| Main Authors: | , , , , , , , |
| Format: | Artículo de revista |
| Language: | Español |
| Published: |
Colombia
2008
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| Subjects: | |
| Online Access: | https://repositorio.escuelaing.edu.co/handle/001/2364 |
| Tags: |
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